[实用新型]一种选择性除膜装置及除膜头有效

专利信息
申请号: 201520126900.0 申请日: 2015-03-05
公开(公告)号: CN204773962U 公开(公告)日: 2015-11-18
发明(设计)人: 张建卫;卢泓;董向阳;任华进 申请(专利权)人: 南京第壹有机光电有限公司
主分类号: B32B38/10 分类号: B32B38/10
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 卢霞
地址: 210038 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供了一种选择性除膜装置,所述的除膜装置包括除膜头、出液装置、除液装置、定位装置和位移装置,所述的除膜头安装在定位装置上,所述的定位装置安装在位移装置上,所述的除膜头包括出液管和除液管,所述出液装置与除膜头的出液管相连,所述除液装置与除膜头的除液管相连,所述的出液管包裹除液管,或者除液管包裹出液管。本实用新型具有如下技术效果:1)利用该装置可以获得一个非常宽的工艺窗口;2)除膜速度范围增加到5-300mm/sec,除膜速度快达到现有技术的8倍以上;3)除膜效果好,除膜后除膜区域没有残留或者残留非常小,除膜边缘没有堆积或者堆积很小,使其能够真正运用于量产工艺之中。
搜索关键词: 一种 选择性 装置
【主权项】:
一种选择性除膜装置,其特征在于,所述的除膜装置包括除膜头、出液装置、除液装置、定位装置和位移装置,所述的除膜头安装在定位装置上,所述的定位装置安装在位移装置上,所述的除膜头包括出液管和除液管,所述出液装置与除膜头的出液管相连,所述除液装置与除膜头的除液管相连,所述的出液管包裹除液管,或者除液管包裹出液管,所述的出液装置用于将除膜液体输送到待加工薄膜表面,所述的除液装置用于将反应后或者溶解后的废液除去,所述的定位装置用于将除膜头和待加工薄膜进行相对定位,所述的位移装置用于控制除膜头或者薄膜相对位置实现选择性除膜。
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