[实用新型]激光打标机

摘要

本实用新型公开了一种激光打标机，用于对晶圆进行打标，包括打标机本体、控制组件、进料结构组件、角度校正结构组件、打标定位检测组件、激光打标机构，所述激光打标机构包括激光发生器、光路结构、装设于所述光路结构上用于对所述晶圆进行打标的打标头，所述打标定位检测组件包括定位检测机构及用于放置待打标晶圆的打标承座结构，所述打标承座结构装设于所述打标机本体上，所述光路结构包括用于将激光进行扩束的扩束镜、若干对激光进行反射传递的反射镜、对激光进行开关控制的光闸、振镜，该激光打标机可以准确确定晶圆的打标位置，使得标记出来的字均匀、美观、无间隙与断隙。

主权项

激光打标机，用于对晶圆进行打标，其特征在于：包括打标机本体、容置于所述打标机本体内的控制组件、装设于所述打标机本体上的进料结构组件、角度校正结构组件、打标定位检测组件、装设于所述打标机本体上并与所述打标定位检测组件相互配合的激光打标机构，所述激光打标机构包括装设于所述打标机本体上的激光发生器、装设于所述激光发生器上用于将激光发生器发出的激光进行传送的光路结构、装设于所述光路结构上用于对所述晶圆进行打标的打标头，所述角度校正结构组件可相对于打标机本体沿X轴来回移动与圆周转动，所述打标定位检测组件包括用于检测所述晶圆的打标位置是否正确的定位检测机构及与所述定位检测结构相对应的用于放置待打标晶圆的打标承座结构，所述打标承座结构装设于所述打标机本体上，所述光路结构包括用于将激光进行扩束的扩束镜、若干对激光进行反射传递的反射镜、对激光进行开关控制的光闸、振镜，所述进料结构组件可将待打标的晶圆放置于角度校正组件上，并可将在角度校正组件上校正完成的晶圆传送到激光打标机构上。