[实用新型]一种OLED关键工序间基板切换装置

摘要

本实用新型公开了一种OLED关键工序间基板切换装置，包括可移动的密封腔体以及设于密封腔体内部的圆柱坐标机器人一、圆柱坐标机器人二、用于放置OLED基板的卡匣和翻转机构，所述卡匣安装在翻转机构的输出端上，圆柱坐标机器人一和圆柱坐标机器人二分别位于卡匣的两侧；本实用新型的基板切换装置，圆柱坐标机器人一将OLED基板从光刻线体输出装置取出并放置到卡匣中，通过AGV小车自动将本装置运送到工艺设定位置，卡匣在翻转机构的作用下翻转，圆柱坐标机器人二将OLED基板从卡匣中取出并放置到蒸镀设备基板输入腔体中，整个过程均在充满了氮气的密封腔体中实现，能有效防止OLED基板与微粒接触，且无需人工操作，效率高。

主权项

一种OLED关键工序间基板切换装置，其特征在于：包括可移动的密封腔体(1)以及设于密封腔体(1)内部的圆柱坐标机器人一(2)、圆柱坐标机器人二(3)、用于放置OLED基板的卡匣(4)和翻转机构，所述卡匣(4)安装在翻转机构的输出端上，圆柱坐标机器人一(2)和圆柱坐标机器人二(3)分别位于卡匣(4)的两侧。