[实用新型]一种OLED关键工序间基板切换装置

说明书

技术领域

本实用新型属于OLED显示技术领域，具体涉及一种OLED关键工序间基板切换装置。

背景技术

OLED的中文名为“有机电致发光显示器”，又称“有机电激发光显示器”，OLED技术被视为继LCD与PDP之后发展潜力最大的新型平板显示技术，由于其突出的性能优势得到了世界上许多国家和企业的重视，目前正处于技术快速发展、产业逐步启动的阶段。OLED具有主动发光、响应速度快、低压驱动、耗电量低、全固态结构、超轻薄、视角宽、可使用温度范围大等诸多优点，被业内称为“梦幻显示器”，代表了目前显示技术的发展方向。

OLED的制造工艺技术含量高、难度大，在制造过程中空间里的微粒物质如果掉落到OLED基板电极上，将使该器件报废进而使得整个生产批次的OLED器件良率降低，这样将大大增加制造成本，影响公司的利润，因此其对制造过程中的环境的洁净度要求也很高，同时也要求器件未封装前尽量不要暴露在外。由于光刻工序是联机设备，蒸镀封装工序是整机设备，因此本工序内的作业空间密闭性很好，但基板在工序之间进行切换时，会有段时间使得基板的电极暴露在空间之中。传统的做法是在光刻线体完成OLED的电路制作后，由光刻工序的机械臂将基板放入卡匣中，操作人员取出卡匣放在手推小车上，推到蒸镀封装机前端，再由操作员把卡匣放在指定位置，再由蒸镀工序的多关节机械臂从卡匣中取出基板进行翻转，放入到蒸镀封装机的腔体里面，该方法不仅效率低下，而且容易让空间中的微粒物质掉落到裸露的电极上。

实用新型内容

本实用新型的目的是解决上述问题，提供一种操作简单、效率高、能有效防止OLED基板与微粒接触的OLED关键工序间基板切换装置。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种OLED关键工序间基板切换装置，包括可移动的密封腔体以及设于密封腔体内部的圆柱坐标机器人一、圆柱坐标机器人二、用于放置OLED基板的卡匣和翻转机构，所述卡匣安装在翻转机构的输出端上，圆柱坐标机器人一和圆柱坐标机器人二分别位于卡匣的两侧。

优选地，所述翻转机构包括电机，电机的输出端与卡匣固定连接。

优选地，所述密封腔体的两端设有可开合的闸门。

优选地，所述圆柱坐标机器人一包括可升降和旋转的转动轴一、安装在转动轴一上端的基板一以及滑动安装在基板一上表面的叉臂一，叉臂一的上表面设有真空吸盘。

优选地，所述圆柱坐标机器人二包括可升降和旋转的转动轴二、安装在转动轴二上端的基板二以及滑动安装在基板二下表面的叉臂二，叉臂二的下表面设有真空吸盘。

优选地，所述真空吸盘与真空源相连。

优选地，所述密封腔体上设有与氮气源相连的控制阀。

优选地，还包括可移动的小车，密封腔体放置在小车上并可随小车一起移动。

优选地，所述小车为AGV小车。

本实用新型的有益效果是：本实用新型所提供的OLED关键工序间基板切换装置，圆柱坐标机器人一将OLED基板从光刻线体输出装置取出并放置到卡匣中，通过AGV小车自动将将本装置运送到工艺设定位置，卡匣在翻转机构的作用下翻转，圆柱坐标机器人二将OLED基板从卡匣中取出并放置到蒸镀设备基板输入腔体中，整个过程均在充满了氮气的密封腔体中实现，能有效防止OLED基板与微粒接触，且无需人工操作，效率高。

附图说明

图1是本实用新型OLED关键工序间基板切换装置的结构示意图；

图2是本实用新型圆柱坐标机器人一的示意图；

图3是本实用新型圆柱坐标机器人二的示意图；

图4是本实用新型基板切换装置与光刻线体输出装置的示意图；

图5是本实用新型基板切换装置与蒸镀设备基板输入腔体的示意图。

附图标记说明：1、密封腔体；11、控制阀；12、闸门一；13、闸门二；2、圆柱坐标机器人一；21、转动轴一；22、基板一；23、叉臂一；3、圆柱坐标机器人二；31、转动轴二；32、基板二；33、叉臂二；4、卡匣；51、电机；6、光刻线体输出装置；7、蒸镀设备基板输入腔体。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步的说明：