[实用新型]旋转靶材芯轴机构有效
| 申请号： | 201520009628.8 | 申请日： | 2015-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN204387313U | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 曾墩风;罗永春;石煜;罗文富 | 申请（专利权）人： | 厦门映日新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/12 | 分类号： | F16J15/12;C23C14/34 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 方惠春 |
| 地址： | 361000 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开旋转靶材芯轴机构，该芯轴机构位于旋转靶材的中空背管内，所述芯轴机构包括中空管体及左、右端头，所述左、右端头分别于管体的左、右端配合连接并形成一体式芯轴结构；所述左、右端头分别套设有密封结构，而该密封结构扣设在背管两端的开口处，形成背管两端的密封结构。本实用新型在背管两端开口处利用石棉与铝板实现密封，令冷却水可以流至背管两端处，从而有效实现了背管端头处的冷却，进而提升芯轴机构对背管的冷却效果，从而有效避免因喷涂过程中过热导致靶材开裂等现象。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 靶材芯轴 机构 | ||
【主权项】：
旋转靶材芯轴机构，该芯轴机构位于旋转靶材的中空背管内，其特征在于：所述芯轴机构包括中空管体及左、右端头，所述左、右端头分别于管体的左、右端配合连接并形成一体式芯轴结构；所述左、右端头分别套设有密封结构，而该密封结构扣设在背管两端的开口处，形成背管两端的密封结构。
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