[发明专利]一种无铅压电陶瓷及其薄膜的制备方法在审
申请号: | 201511034174.0 | 申请日: | 2015-12-31 |
公开(公告)号: | CN105645953A | 公开(公告)日: | 2016-06-08 |
发明(设计)人: | 郭栋;蔡锴;江凤;王云丽 | 申请(专利权)人: | 中国科学院声学研究所 |
主分类号: | C04B35/468 | 分类号: | C04B35/468;C04B35/624;C04B35/622 |
代理公司: | 北京亿腾知识产权代理事务所 11309 | 代理人: | 陈霁 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种无铅压电陶瓷及其薄膜的制备方法,包括:(1)将钡盐、钙盐和锡盐分别溶于溶剂制得溶液;(2)将有机钛盐溶于有机溶剂制得溶液;(3)将步骤(1)和(2)中的溶液混合,得到溶胶;(4)于50℃~80℃下浓缩,然后烘干得到干凝胶;(5)粉碎研磨后,于1060℃~1280℃煅烧3-5h,制得压电粉料;然后球磨、烘干、压制成陶瓷坯体;排塑后,于1280℃~1400℃下烧结3~5h,制得压电陶瓷体;涂银电极后,在室温至50℃的油浴中极化处理20~30min,制得压电陶瓷。另外,将步骤(3)中的溶胶通过旋涂或浸湿,在不同基片上沉积薄膜,然后在700℃~1100℃下退火制备无铅压电陶瓷薄膜。制备的陶瓷及薄膜材料,可用于各种换能器及传感器等相关压电器件。 | ||
搜索关键词: | 一种 压电 陶瓷 及其 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种无铅压电陶瓷的制备方法,其特征在于,所述方法包括:(1)将钡盐、钙盐和锡盐分别溶于溶剂,形成相应的金属盐溶液;(2)将有机钛盐溶于有机溶剂制得溶液;(3)将所述步骤(1)和所述步骤(2)中的溶液混合,得到溶胶;(4)将所述溶胶于50℃~80℃下浓缩,然后依次在120℃~150℃、160℃~200℃下各烘干3~6h,得到干凝胶;(5)将所述干凝胶粉碎研磨后,于1060℃~1280℃煅烧3‑5h,制得压电粉料;(6)将所述压电粉料进行球磨、烘干,加入粘结剂后进行研磨造粒、过筛,然后压制成陶瓷坯体。(7)将所述陶瓷坯体排塑后,于1280℃~1400℃下烧结3~5h,制得压电陶瓷体;(8)将所述压电陶瓷体涂银电极后,在室温至50℃的油浴中极化处理20~30min,制得所需压电陶瓷。
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