[发明专利]检查装置及检查装置的控制方法有效
| 申请号： | 201510648233.7 | 申请日： | 2015-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN105783784B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 藤井心平;西贵行;川岛优人 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 72003 隆天知识产权代理有限公司 | 代理人： | 金相允 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及检查装置及检查装置的控制方法，提供在使用在物体上投影有图案图像的状态下拍摄的图像对该物体进行检查的检查装置中用于抑制二次反射噪音而使可靠性高的测量及检查成为可能的技术。在因其他的物体的反射面反射的光会导致发生二次反射的二次反射物体存在的情况下，控制装置进行如下控制：(1)变更从投影装置投影的图案图像的投影范围以使光不会到达所述反射面，或者(2)设定图案图像的投影位置以使所述反射面脱离从投影装置投影的图案图像的投影范围。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检查装置，其特征在于，具有：/n拍摄装置，/n投影装置，在所述拍摄装置的视野内投影图案图像，/n信息处理装置，使用在从所述投影装置投影了图案图像的状态下通过所述拍摄装置拍摄的图像，进行包括在所述拍摄装置的视野内的一个以上的物体的检查，以及/n控制装置，控制所述拍摄装置及所述投影装置；/n在所述拍摄装置的视野内，在因其他的物体的反射面反射的光会导致发生二次反射的二次反射物体存在的情况下，/n所述控制装置变更所述拍摄装置的视野内的所述二次反射物体的位置以使所述二次反射物体到达所述拍摄装置的视野内的中心位置后，将从所述投影装置投影的图案图像的投影范围变更为该视野的中心的规定范围以使光不会到达所述反射面，在投影了变更投影范围后的图案图像的状态下进行通过所述拍摄装置拍摄所述二次反射物体的控制。/n
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