[发明专利]一种电子级砷烷中水分含量的分析方法在审
| 申请号： | 201510387625.2 | 申请日： | 2015-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN104965012A | 公开（公告）日： | 2015-10-07 |
| 发明（设计）人： | 周庆美;李东升;曾庆腾 | 申请（专利权）人： | 上海正帆科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/28 | 分类号： | G01N27/28 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹 |
| 地址： | 201108 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电子级砷烷中水分含量的分析方法，其特征在于，包括：将电子级砷烷输入电解池，所述的电解池内装有电极，电极表面具有吸湿性材料涂层，砷烷中的水分子在吸湿性材料涂层的吸附作用下富集在电极表面，给电极施加电压，水分子被电极电解产生电流，通过所产生的电流值计算砷烷中的水分含量。本发明通过利用P2O5的吸水特性，将砷烷中的水分富集在电极表面，基于法拉第电解原理的测量法，解决了传统的冷镜露点法无法检测电子级砷烷中水分含量的问题，而且本方法准确度高，分析时间短，消耗样品少，灵敏度高，检测下限可低至1ppb。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 级砷烷中 水分 含量 分析 方法 | ||
【主权项】：
一种电子级砷烷中水分含量的分析方法，其特征在于，包括：将电子级砷烷输入电解池，所述的电解池内装有电极，电极表面具有吸湿性材料涂层，砷烷中的水分子在吸湿性材料涂层的吸附作用下富集在电极表面，给电极施加电压，水分子被电极电解产生电流，通过所产生的电流值计算砷烷中的水分含量。
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