[发明专利]一种含锆膜层的镀膜玻璃及其制备方法在审
| 申请号： | 201510345204.3 | 申请日： | 2015-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN104890324A | 公开（公告）日： | 2015-09-09 |
| 发明（设计）人： | 吴昌飞;艾蒙雁 | 申请（专利权）人： | 芜湖市晨曦新型建材科技有限公司 |
| 主分类号： | B32B17/06 | 分类号： | B32B17/06;B32B15/04;B32B33/00;B32B37/10 |
| 代理公司： | 北京元本知识产权代理事务所 11308 | 代理人： | 范奇 |
| 地址： | 241000 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种含锆膜层的镀膜玻璃及其制备方法，包括玻璃基片、镀制于玻璃基片表面的功能膜层、镀制于功能膜层表面的含锆膜层，含锆膜层材料为SiNx和ZrSiOxNy的混合物，该混合物中SiNx重量百分比为50％-70％，且58％-63％最佳；在玻璃基片上用磁控溅射方式沉积功能膜层，再用磁控溅射方式在功能膜层外沉积含锆膜层；上述步骤在真空度0.1Pa真空室内工作，含锆膜层沉积结束，释放真空，充入N2/O2体积比小于等于8的保护气体，辊道送出含锆膜层玻璃。本方法得到的含锆膜层镀膜玻璃，可以有效解决传统镀膜基片划伤、摩擦、氧化等问题，具有较高的实用价值和经济价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 含锆膜层 镀膜 玻璃 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种含锆膜层的镀膜玻璃，其特征在于包括玻璃基片、镀制于玻璃基片表面的功能膜层、镀制于功能膜层表面的含锆膜层；含锆膜层材料为SiNx和ZrSiOxNy的混合物，该混合物中SiNx重量百分比为50％‑70％，膜层厚度25‑30nm。
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