[发明专利]一种BMN陶瓷靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201510342244.2 | 申请日： | 2015-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN104944951A | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 高虹 | 申请（专利权）人： | 盐城工学院 |
| 主分类号： | C04B35/495 | 分类号： | C04B35/495;C04B35/622 |
| 代理公司： | 四川君士达律师事务所 51216 | 代理人： | 芶忠义 |
| 地址： | 224051 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种BMN陶瓷靶材的制备方法，属于陶瓷靶材制备领域。本发明方法包括步骤一：BMN粉体的制备；步骤二：生坯的制备；步骤三：靶材的烧结，得到所需的靶材。本发明方法制备的BMN陶瓷靶材具有结构致密、性能优良的优点，制备的BMN陶瓷靶材结构致密，气孔较少，晶粒规整，大小约为2～5μm，靶材的组分化学式为Bi1.48MgNb1.5O6.97，其相对密度达到最大值97.03wt％，并且介电性能优异，1MHz下的介电常数为170.4，介电损耗为6.25×10-4。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 bmn 陶瓷 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种BMN陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，具有如下步骤：步骤一：BMN粉体的制备以Bi2O3，MgO和Nb2O5粉末为起始原料，摩尔比为1.65:1:1.5，以无水乙醇为介质球磨6～10h，将物料于80～100℃恒温干燥箱中干燥；将混合好的物料在空气或氧气气氛中预烧，温度为700～900℃，保温1～4h，然后自然降温至室温，得到BMN粉体；步骤二：生坯的制备将所述步骤一制得的BMN粉体进行二次球磨6～10h，于80～100℃恒温干燥箱中干燥，后研磨并过筛，添加粘合剂造粒；将造粒好的粉料单轴压制成型，制成直径为65mm厚为6mm的BMN生坯，压力为10MPa；步骤三：靶材的烧结将成型的BMN陶瓷在500～700℃保温40～50h脱胶，升温时间为10～15h，之后在氧气气氛中1000～1100℃烧结，保温2～10h，得到所需的靶材。
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