[发明专利]电镀浴分析有效
申请号: | 201510341903.0 | 申请日: | 2015-04-22 |
公开(公告)号: | CN105154962B | 公开(公告)日: | 2017-08-08 |
发明(设计)人: | M·A·托塞思 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
主分类号: | C25D21/14 | 分类号: | C25D21/14 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人: | 江磊,陈哲锋 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种电镀浴分析。电化学阻抗谱用于测定金属电镀浴中有机添加剂的含量。 | ||
搜索关键词: | 电镀 分析 | ||
【主权项】:
一种用于测定金属电镀浴中一种或多种有机组分浓度的方法,包括下列步骤:a)提供一种具有可旋转工作电极、对电极、参比电极、恒电势仪和频率响应分析仪的设备,其中对电极与工作和参比电极可操作地连通;b)获得包含未知量的有机添加剂的金属电镀浴溶液;c)使工作电极、参比电极和对电极各自与所述金属电镀溶液接触,以及,在工作电极以第一旋转速率旋转的同时,通过施加正电势,清洁工作电极表面;d)通过在开路电势下以第二旋转速率旋转工作电极而平衡电镀溶液中的对流,所述第二旋转速率与所述第一旋转速率不同;e)向工作电极上施加电势,其位于相对于金属欠电势沉积峰偏向负值方向50‑500mV的位置并且与1‑100mV的交流电势波动重叠;f)测定在10kHz至1mHz频率范围区间的有机添加剂溶液的阻抗响应;g)根据阻抗响应选择频率;以及h)通过将选定频率处的阻抗响应与校正曲线比较,确定有机添加剂的浓度。
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