[发明专利]太阳能电池反射膜的双减反层结构及制备方法

摘要

本发明涉及太阳能电池反射膜的双减反层结构及制备方法。其结构依次由上减反层、弹坑减反层和基地层组成。所述的中间的弹坑减反层上带有一个个弧形坡状的下凹形弹坑。上减反层复合在弹坑减反层的上表面，由底层膜与在其上面密布排列的颗粒构成，颗粒的表面具有绒面形状；底层膜和弹坑减反层的上表面复合成一体，之间共同形成下凹形弹坑。本发明制备的弹坑层，是采用PECVD技术沉积制备的，PECVD技术可以制备出均匀且性能稳定的弹坑层结构，且可控制性高，能很精确的控制减反层的厚度。本太阳能电池具有90％以上的高透射率；该减反层具体工艺简单，沉积时间快，耗能低，双层薄膜具有依次增大的折射率，可以对大面积工业生产提供可能。

主权项

一种太阳能电池反射膜的双减反层结构，其特征在于：依次由上减反层、弹坑减反层和基地层组成。