[发明专利]双介质阻挡放电低温等离子体处理装置在审
| 申请号： | 201510314701.7 | 申请日： | 2015-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN104941401A | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 蒋靖坤;姜仑;李庆 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B01D53/32 | 分类号： | B01D53/32 |
| 代理公司： | 深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311 | 代理人： | 哈达 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种双介质阻挡放电低温等离子体处理装置，从外到内包括外保护层、外电极、绝缘介质外管、绝缘介质内管、内电极及内保护结构；该绝缘介质外管套设在该绝缘介质内管外并与该绝缘介质内管间隔设置，该绝缘介质外管包括一进气口及一出气口；该外电极设置在该绝缘介质外管的外壁上；该外保护层为耐热的绝缘层，设置在该外电极的外表面，使该外电极与空气隔绝；该内电极设置在该绝缘介质内管的内壁上；该内保护结构为耐热的绝缘结构，设置在该绝缘介质内管中并覆盖该内电极，使该内电极与空气隔绝。 | ||
| 搜索关键词： | 介质 阻挡 放电 低温 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种双介质阻挡放电低温等离子体处理装置，其特征在于，从外到内包括外保护层、外电极、绝缘介质外管、绝缘介质内管、内电极及内保护结构；该绝缘介质外管套设在该绝缘介质内管外并与该绝缘介质内管间隔设置，该绝缘介质外管包括一进气口及一出气口；该外电极设置在该绝缘介质外管的外壁上；该外保护层为耐热的绝缘层，设置在该外电极的外表面，使该外电极与空气隔绝；该内电极设置在该绝缘介质内管的内壁上；该内保护结构为耐热的绝缘结构，设置在该绝缘介质内管中并覆盖该内电极，使该内电极与空气隔绝。
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