[发明专利]角速度传感器在审
申请号: | 201510274848.8 | 申请日: | 2015-05-26 |
公开(公告)号: | CN105318866A | 公开(公告)日: | 2016-02-10 |
发明(设计)人: | 名取宏文;远池健一;海野晶裕;青柳岳 | 申请(专利权)人: | TDK株式会社 |
主分类号: | G01C19/56 | 分类号: | G01C19/56 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;黄贤炬 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明所涉及角速度传感器,其中,在压电元件中,压电体膜、设置在压电体膜的一个面的第1电极膜以及设置在压电体膜的另一个面的第2电极膜成为层叠结构,第1电极膜的外轮廓和第2电极膜的外轮廓位于从层叠方向看比压电体膜的外轮廓更靠外侧的位置,有机树脂膜接触于压电体膜,抑制了噪声的产生。 | ||
搜索关键词: | 角速度 传感器 | ||
【主权项】:
一种角速度传感器,其特征在于:是具有固定有压电元件的驱动臂的角速度传感器,所述压电元件具备:压电体膜;第1电极膜,其设置在所述压电体膜的一个面侧;第2电极膜,其设置在所述压电体膜的另一个面侧,在令垂直于所述驱动臂的长边方向和所述压电体膜的厚度方向两者的方向为宽度方向的情况下,所述第1电极膜的宽度方向的尺寸La、所述第2电极膜的宽度方向的尺寸Lc、所述压电体膜的宽度方向的尺寸Lb满足以下关系:Lc×0.95≤La≤Lc×1.05Lb<La、Lb<Lc。
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