[发明专利]陀螺仪传感器和电子设备

摘要

本发明提供实现了小型化的陀螺仪传感器和电子设备。陀螺仪传感器具有第1质量部，具有第1检测部；第2质量部，具有第2检测部；第1驱动部，使第1质量部在第1轴的方向上振动；力转换部，由锚部固定，第1质量部和第2质量部由力转换部连接，力转换部以锚部为轴进行移位，使第2质量部在平面视图中与第1轴交叉的第2轴的方向上振动，陀螺仪传感器具有第3质量部，在第1轴上与第1质量部相对，且具有第3检测部；以及第2驱动部，使第3质量部在与第1质量部相反的第1轴的方向上振动，力转换部连接在第2质量部与第3质量部之间，并且，利用第1质量部和第3质量部的第1轴的方向的振动，使第2质量部在第2轴的方向上振动。

主权项

一种陀螺仪传感器，其特征在于，该陀螺仪传感器具有：第1质量部，其具有第1检测部；第2质量部，其具有第2检测部；第1驱动部，其使所述第1质量部在第1轴的方向上振动；以及力转换部，其由锚部固定，所述第1质量部和所述第2质量部由所述力转换部连接，所述力转换部以所述锚部为轴进行移位，使所述第2质量部在平面视图中与所述第1轴交叉的第2轴的方向上振动，所述陀螺仪传感器具有：第3质量部，其在所述第1轴上与所述第1质量部相对，且具有第3检测部；以及第2驱动部，其使所述第3质量部在所述第1轴的方向上向与所述第1质量部的振动方向相反的方向振动，所述力转换部连接在所述第2质量部与所述第3质量部之间，并且，利用所述第1质量部和所述第3质量部的所述第1轴的方向的振动，使所述第2质量部在所述第2轴的方向上振动。