[发明专利]抗低频噪音的麦克风单体有效

专利信息
申请号: 201510192281.X 申请日: 2015-04-20
公开(公告)号: CN106162476B 公开(公告)日: 2023-10-27
发明(设计)人: 叶菁华 申请(专利权)人: 钰太芯微电子科技(上海)有限公司;钰太科技股份有限公司
主分类号: H04R19/04 分类号: H04R19/04
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 俞涤炯
地址: 200120 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及语音信号处理技术领域,尤其涉及一种抗低频噪音的麦克风单体。包括MEMS换能器,所述MEMS换能器具有,一声学振膜,与所述振膜的中心设置一第一通孔,以及于所述声学振膜远离所述第一通孔的位置设置有复数个用以释放应力的第二通孔;一与所述声学振膜之间形成一固定间隙的背部电极;其中,所述声学振膜与所述背部电极形成一平板电容器,于所述声学振膜振动的状态下,所述平板电容器根据所述声学振膜的振膜幅度形成与所述振动幅度相匹配的电容信号输出。与现有技术相比,本发明的优点是:在声学振膜中心设置一第一通孔,用以滤除低频噪音信号。
搜索关键词: 低频 噪音 麦克风 单体
【主权项】:
一种抗低频噪音的麦克风单体,其特征在于:包括MEMS换能器,所述MEMS换能器具有,一声学振膜,与所述振膜的中心设置一第一通孔,以及于所述声学振膜远离所述第一通孔的位置设置有复数个用以释放应力的第二通孔;一与所述声学振膜之间形成一固定间隙的背部电极;其中,所述声学振膜与所述背部电极形成一平板电容器,于所述声学振膜振动的状态下,所述平板电容器根据所述声学振膜的振膜幅度形成与所述振动幅度相匹配的电容信号输出。
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