[发明专利]钪铝合金溅镀目标有效
| 申请号： | 201510093300.3 | 申请日： | 2015-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN104883149B | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 克里斯·冯;叶堂水;约翰·克伊;凯文·J·格伦纳;菲尔·尼克尔 | 申请（专利权）人： | 安华高科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;C23C14/34;C22C21/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 林斯凯 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及钪铝合金溅镀目标。一种溅镀目标包括钪铝合金，其中所述合金具有3‑10原子百分数的钪和90‑97原子百分数的铝的浓度。所述溅镀目标可用于制造例如声谐振器的设备的压电层。 | ||
| 搜索关键词： | 铝合金 目标 | ||
【主权项】：
一种制造溅镀目标的方法，其包括：形成钪铝合金，所述钪铝合金包括3‑10原子百分数的钪和90‑97原子百分数的铝；以及使所述钪铝合金为用作等离子体沉积装备中的溅镀目标作准备。
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