[发明专利]透射电子显微镜用压电驱动式双轴倾转样品杆

摘要

透射电子显微镜用压电驱动式双轴倾转样品杆，主要包括手握柄，样品杆杆身，样品杆头端和用于装载样品的样品杯，样品杯与轴固定，轴与样品杆头端可转动连接；样品杆头端设置驱动轴步进式转动的驱动件，驱动件与轴紧密接触，驱动件从第一位置运动到第二位置时，轴步进一个角度行程；驱动件从第二位置复位到第一位置时，轴固定；驱动件从第一位置运动到第二位置和从第二位置复位到第一位置组成一个运动周期，轴的转动角度=N*，其中N为运动周期的个数。本发明具有驱动样品杆绕轴转动的装置体积小，且能使倾转角度超过30 ^o的优点。

主权项

透射电子显微镜用压电驱动式双轴倾转样品杆，主要包括手握柄，样品杆杆身，样品杆头端和用于装载样品的样品杯，样品杯与β轴固定，β轴可转动地安装于样品杆头端；其特征在于：样品杆头端设置驱动β轴步进式转动的驱动件，驱动件与β轴紧密接触，驱动件从第一位置运动到第二位置时，β轴步进一个角度行程θ°；驱动件从第二位置复位到第一位置时，β轴固定；驱动件从第一位置运动到第二位置和从第二位置复位到第一位置组成一个运动周期，β轴的转动角度＝N*θ°，其中N为运动周期的个数；驱动件通过压紧机构压紧于β轴，压紧机构包括压片、固定螺丝和弹簧，固定螺丝穿过压片与样品杆头端固定，固定螺丝有多个，每个固定螺丝上套接一个弹簧，弹簧位于样品杆头端与压片之间，驱动件固定于压片上，压片使驱动件压紧于β轴。