[发明专利]薄膜晶体管基板及其显示面板

摘要

本发明公开一种薄膜晶体管基板及其显示面板，该显示面板包括：基板；第一金属层，位于基板上，包括栅极，以及连接栅极的栅极线；第一绝缘层，位于第一金属层上；平坦化层，位于第一绝缘层上；开口，由平坦化层的侧壁与第一绝缘层的表面所定义，开口与栅极重叠；有源层，位于开口与平坦化层上；以及第二金属层，位于有源层上，包括接触有源层的源极，以及连接源极的数据线；其中平坦化层与第一绝缘层位于数据线与栅极线之间。

主权项

1.一种显示面板，包括：基板；第一金属层，位于该基板上，包括栅极，以及连接该栅极的栅极线；第一绝缘层，位于该第一金属层上；平坦化层，位于该第一绝缘层上；开口，由该平坦化层的侧壁与该第一绝缘层的表面所定义，该开口与该栅极重叠；有源层，位于该平坦化层上且覆盖该开口；以及第二金属层，位于该有源层上，包括接触该有源层的源极，以及连接该源极的数据线；其中该平坦化层与该第一绝缘层位于该数据线与该栅极线之间，其中该有源层包含位于该第一绝缘层的表面上的第一部分，以及位于该平坦化层上的第二部分，其中该第二金属层接触该有源层的第二部分，其中该有源层的第一部分为金属氧化物半导体，而该有源层的第二部分为金属氧化物导体；其中该平坦化层是由氮化硅或富含氢的绝缘材料所组成。