[发明专利]检测装置、压印装置及物品的制造方法有效
| 申请号： | 201510080276.X | 申请日： | 2015-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN104849956B | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 稻田博志;三岛和彦;宫春隆文 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军;李艳丽 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种检测装置、压印装置及物品的制造方法。所述检测装置被构造为检测由具有彼此不同的栅格节距的栅格图案生成的莫尔纹图案，所述检测装置包括：摄像单元，其被构造为拍摄所述莫尔纹图案的图像；成像光学系统，其被构造为使摄像单元对所述莫尔纹图案进行成像；以及处理单元，其被构造为对由所述摄像单元拍摄到的所述莫尔纹图案的摄像结果进行处理，其中所述摄像单元拍摄包括具有不大于所述成像光学系统的分辨能力的宽度的多个图案的标记，所述多个图案布置在测量方向上并且所述多个图案的宽度和间隔之间的占空比被变化，并且所述处理单元通过对由所述摄像单元拍摄到的标记的所述摄像结果进行处理，来评估所述检测装置。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 压印 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种检测装置，其被构造为检测由具有彼此不同的栅格节距的栅格图案生成的莫尔纹图案，所述检测装置包括：摄像单元，其被构造为拍摄所述莫尔纹图案的图像；成像光学系统，其被构造为在所述摄像单元上形成所述莫尔纹图案的图像；以及处理单元，其被构造为对由所述摄像单元拍摄到的所述莫尔纹图案的摄像结果进行处理，其中所述摄像单元拍摄标记的图像，所述标记包括具有不大于所述成像光学系统的分辨能力的宽度的多个图案，所述多个图案被布置在测量方向上并且所述多个图案的宽度和间隔之间的占空比被改变，并且所述处理单元通过对由所述摄像单元拍摄到的所述标记的所述摄像结果进行处理，来评估所述检测装置。
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