[发明专利]移载方法、保持装置及移载系统有效
| 申请号： | 201510010275.8 | 申请日： | 2015-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN104780750B | 公开（公告）日： | 2017-09-26 |
| 发明（设计）人： | 坂本秀夫;小室秀一 | 申请（专利权）人： | 平田机工株式会社 |
| 主分类号： | H05K13/02 | 分类号： | H05K13/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 李成海 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种移载方法、保持装置及移载系统。移载方法是从具备载置基板的载置部和紧贴地重叠在上述载置部上面上的罩的载体，移载被保持在上述载置部和上述罩之间的上述基板的移载方法，其特征在于，包含由保持装置保持上述载置部上的上述基板及上述罩的保持工序；和通过移动上述保持装置，从载置部向移载目的地移动上述基板及上述罩的移动工序，在上述保持工序中，以上述罩和上述基板平行的姿势，由上述保持装置的罩保持单元保持上述罩，由上述保持装置的基板保持单元保持上述基板。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 保持 装置 系统 | ||
【主权项】：
一种移载方法，是从具备载置基板的载置部和紧贴地重叠在上述载置部上面上的罩的载体，移载被保持在上述载置部和上述罩之间的上述基板的移载方法，其特征在于，包含：由保持装置保持上述载置部上的上述基板及上述罩的双方的保持工序；和通过移动保持上述基板及上述罩的双方的上述保持装置，将上述基板及上述罩从上述载置部分离地向移载目的地移动的移动工序，在上述保持工序中，以上述罩和上述基板平行的姿势，由上述保持装置的罩保持单元保持上述罩，由上述保持装置的基板保持单元保持上述基板。
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