[发明专利]保持垫片在审
| 申请号： | 201480081839.0 | 申请日： | 2014-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN107073681A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 矢岛利康;二宫大辅 | 申请（专利权）人： | 丸石产业株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司72003 | 代理人： | 张福根,冯志云 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种保持垫片，该保持垫片为用以保持被研磨构件的保持垫片。本发明的保持垫片具有保持层。所述保持层在其表面上的一部分具有模板固定部，用以贴附防止被研磨构件的横向偏移用的模板；所述模板固定部在其表面具有用以吸附固定模板的吸附层；所述吸附层以由既定的硅氧烷所构成的聚硅氧交联而成的组合物所形成。本发明的保持垫片使模板为可脱附，并可在研磨处理时确实固定模板。 | ||
| 搜索关键词： | 保持 垫片 | ||
【主权项】：
一种保持垫片，其具有用以保持被研磨构件的保持层，其中，所述保持层在其表面上的一部分具有模板固定部，用以贴附防止被研磨构件的横向偏移用的模板，所述模板固定部在其表面具有用以吸附固定模板的吸附层，所述吸附层包含使选自下述的至少一种的聚硅氧交联而成的组成物：由仅于两末端具有乙烯基的直链聚有机硅氧烷所成的聚硅氧；由于两末端及侧链具有乙烯基的直链聚有机硅氧烷所成的聚硅氧；由仅于末端具有乙烯基的支链聚有机硅氧烷所成的聚硅氧；及，由于末端及侧链具有乙烯基的支链聚有机硅氧烷所成的聚硅氧。
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