[发明专利]检查方法

摘要

在吸嘴的检查方法中，测定在截面积不同的多个基准管中分别流动的空气流量(L₁、L₂)。接着，基于测定出的多个基准管的各空气流量与多个基准管的各截面积(D₁、D₂)而计算基准管的空气流量与截面积的比例常数(直线(130)的斜率)。另外，测定在检查对象的吸嘴中流动的空气流量(L_n1)。并且，基于该吸嘴的空气流量与计算出的比例常数，计算吸嘴的截面积(D_n)。即使从空气源供给的空气的压力发生变动，这样计算出的吸嘴的截面积也大体恒定。另外，吸嘴的截面积与在吸嘴的内部流动的空气流量成比例。由此，即使在从空气源供给的空气的压力发生了变动的情况下，也能够适当地进行空气流量检查。

主权项

1.一种检查方法，用于检查通过空气的吸引来吸附对象物的吸嘴，所述检查方法的特征在于，该检查方法包括以下工序：压力调整工序，将从第一空气源供给的空气的压力调整为设定压力；流量调整工序，利用在所述压力调整工序中调整过的压力的空气将在空气流路内流动的空气的每单位时间的流量调整为设定量；空气源更换工序，在所述流量调整工序中的空气的流量的调整结束之后，将第一空气源更换为压力变动比所述第一空气源大的第二空气源；第一测定工序，在所述空气源更换工序中的空气源的更换结束之后，测定在所述空气流路内流动的空气的每单位时间的流量；第二测定工序，在向所述空气流路连接有检查对象的吸嘴的状态下，测定在所述空气流路内流动的空气的每单位时间的流量；及推定流量计算工序，将对在所述第二测定工序中测定出的每单位时间的流量乘以在所述第一测定工序中测定出的每单位时间的流量相对于所述设定量的比率而得到的值计算为推定流量。