[发明专利]膜厚测量方法及膜厚测量装置有效
| 申请号： | 201480074364.2 | 申请日： | 2014-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN105940282B | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 大塚贤一;中野哲寿 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01N21/27;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 膜厚测量装置(1A)包括：光照射部(10)，其向测量对象物(100)照射光；光检测部(20A)，其对反射光的各波长的强度进行检测；及膜厚算出部(30A)，其通过对实测分光反射率与理论分光反射率进行比较而决定第1膜(102)的膜厚，上述实测分光反射率基于光检测部(20A)的检测结果而获得，上述理论分光反射率采纳有表面反射率及表面透过率、以及背面反射率者。膜厚算出部(30A)对分别使表面反射率的值及表面透过率的值、以及背面反射率的值变化而获得的多个理论分光反射率与实测分光反射率进行比较，基于最接近于该实测分光反射率的理论分光反射率，决定第1膜(102)的膜厚。 | ||
| 搜索关键词： | 测量方法 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种膜厚测量方法，其特征在于，是对包含具有表面及背面的基材、形成于所述表面上的第1膜、及形成于所述背面上的第2膜的测量对象物的膜厚进行测量的方法，所述膜厚测量方法包括：光照射步骤，其向所述测量对象物的所述表面侧照射光；光检测步骤，其对所述测量对象物的所述表面侧的反射光的各波长的强度进行检测；及膜厚特定步骤，其通过对实测分光反射率与理论分光反射率进行比较而决定所述第1膜的膜厚，所述实测分光反射率是基于所述光检测步骤中的检测结果而获得的各波长的反射率，所述理论分光反射率是采纳有作为所述表面侧的反射率的表面反射率、作为所述表面侧的透过率的表面透过率、及依赖于所述第2膜的折射率和膜厚的作为所述背面侧的反射率的背面反射率的理论上的各波长的反射率，在所述膜厚特定步骤中，对使所述表面反射率的值、所述表面透过率的值、及所述背面反射率的值变化而获得的多个理论分光反射率与所述实测分光反射率进行比较，基于最接近于该实测分光反射率的所述理论分光反射率，决定所述第1膜的膜厚。
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