[发明专利]气体传感器有效
| 申请号： | 201480053335.8 | 申请日： | 2014-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN105593666B | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 爱迪生·古梅斯·柯曼尔古;竹原聪 | 申请（专利权）人： | 旭化成微电子株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/61 | 分类号： | G01N21/61;G01N21/03;G01N21/3504;H01L31/12 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种能够减小测定误差、简单且小型的可靠性高的气体传感器。具备第一光源(20)以及以使从第一光源(20)输出的光入射到第一传感器部(31)和第二传感器部(32)的方式分别配置的第一传感器部(31)和第二传感器部(32)，还具备在第一主面(411)上设置有第一光源(20)和第一传感器部(31)的第一基板(41)以及在第一主面(422)上设置有第二传感器部(32)的第二基板(42)。第一传感器部(31)的配置位置被设定在第一基板(41)的第一主面(422)上的、从第一光源(20)输出的光中的由第二主面(412)反射的光入射的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种气体传感器，其特征在于，具备：第一光源；以及第一传感器部和第二传感器部，以使从所述第一光源输出的光入射到该第一传感器部和第二传感器部的方式分别配置该第一传感器部和第二传感器部，还具备：第一基板，其具有第一主面和与该第一主面相向的第二主面，在该第一主面上设置有所述第一光源和所述第一传感器部；以及第二基板，其具有第一主面和与第一主面相向的第二主面，在该第二基板的第一主面上设置有所述第二传感器部，其中，所述第一传感器部的配置位置被设定在所述第一基板的第一主面上的、从所述第一光源输出的光中的由该第一基板的第二主面反射的光入射的位置，并且从所述第一光源到所述第一传感器部的光路的至少一部分处于所述第一基板内。
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