[发明专利]质谱分析装置有效

专利信息
申请号: 201480022277.2 申请日: 2014-04-09
公开(公告)号: CN105122422B 公开(公告)日: 2017-11-21
发明(设计)人: 原田高宏 申请(专利权)人: 株式会社岛津制作所
主分类号: H01J49/26 分类号: H01J49/26;H01J49/10
代理公司: 上海市华诚律师事务所31210 代理人: 徐乐乐
地址: 日本京都府京都*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供一种防止未被引入到导入管或者导入孔的离子、微粒子向腔室内部的扩散的质谱分析装置。一种质谱分析装置(1),其具备用于通过激光的照射来将试样S上的分析位置离子化的离子化室(10)、具有检测离子的质量分析器(24)的分析室(23)、以及在离子化室(10)与分析室(23)之间配设了的中间真空室(21、22),并且形成有将离子化室(10)的框体(11)内部与中间真空室(21)的内部连通的导入管(12)或者导入孔,其中,该质谱分析装置具备排出管(13)、以及将空气引入到排气管(13)的风扇(15),构成为通过驱动风扇(15),将包括未被导入到导入管(12)或者导入孔的离子以及/或者微粒子的空气吸引到排气管(13)中。
搜索关键词: 谱分析 装置
【主权项】:
一种质谱分析装置,其具备:离子化室,其用于通过激光的照射来将试样上的分析位置离子化;以及分析室,其具有检测离子的质量分析器,所述质谱分析装置上形成有用于将离子从所述离子化室的框体内部引导到所述分析室的内部的导入管或者导入孔,所述质谱分析装置的特征在于,具备:排气管,其形成于所述离子化室的框体内部;以及风扇,其将空气引入到所述排气管中,所述质谱分析装置通过驱动所述风扇,将包括未被导入到所述导入管或者导入孔的离子以及/或者由所述试样产生的微粒子的空气吸引到所述排气管中。
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