[发明专利]光学模块有效
| 申请号： | 201480010412.1 | 申请日： | 2014-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN105026975B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | J.霍恩;B.克瑙夫 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B7/182 | 分类号： | G02B7/182;G02B5/09;G02B26/08;G03F7/20 |
| 代理公司： | 11105 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 邱军<国际申请>=PCT/EP2014/ |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学模块，尤其是分面反射镜，包括：光学元件(109)；以及支撑结构(108)，用于支撑光学元件(109)，其中，支撑结构(108)包括定位装置(111)，用于以至少一个自由度主动地设定光学元件(109)的位置和/或取向。支撑结构(108)包括具有至少一个接触单元(113.1)的可选择性激活的接触装置(113)，该至少一个接触单元具有第一接触部分(113.2)，其中，在接触装置(113)的激活状态下，第一接触部分(113.2)接触光学元件(109)的第二接触部分(109.4)，以对所述光学元件(109；209)施加接触力，而在接触装置(113)的失活状态下，第一接触部分(113.2)从第二接触部分(109.4)移除。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 模块 | ||
【主权项】：
1.一种光学模块，包括：/n-光学元件(109；209)；以及/n-支撑结构(108)，支撑所述光学元件(109；209)，其中，/n-所述支撑结构(108)包括定位装置(111)，用于以至少一个自由度主动地设定所述光学元件(109；209)的位置和/或取向，/n其特征在于，/n-所述支撑结构(108)包括具有至少一个接触单元(113.1；213.1；313.1)的可选择性激活的接触装置(113；213；313)，所述至少一个接触单元具有第一接触部分(113.2；213.2；313.2)，其中，/n-在所述接触装置(113；213；313)的激活状态下，所述第一接触部分(113.2；213.2；313.2)接触所述光学元件(109；209)的第二接触部分(109.4；209.4)，以对所述光学元件(109；209)施加接触力，以及/n-在所述接触装置(113；213；313)的失活状态下，所述第一接触部分(113.2；213.2；313.2)从所述第二接触部分(109.4；209.4)移除，且其中，/n-所述第一接触部分(113.2)具有第一接触表面(113.3)，所述第二接触部分(109.4)具有第二接触表面(109.5)，/n-所述第一接触表面(113.3)和所述第二接触表面(109.5)构造成在由所述定位装置(111)设定的至少一个位置和/或取向上，它们在所述接触装置(113)的激活状态下在至少一个摩擦锁定方向上形成摩擦锁定连接，且其中，/n所述接触装置(113)构造成使得在所述接触装置(113)的激活状态下，在所述摩擦锁定方向上，可设定摩擦力充当抵抗所述定位装置(111)的定位力的调节阻力。/n
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