[实用新型]一种真空等离子热喷涂旋转靶材观察保护装置

摘要

本实用新型公开一种真空等离子热喷涂旋转靶材观察保护装置，该保护装置为设在真空等离子喷涂罐上的观察视窗，该观察视窗主要包括透明玻璃，该透明玻璃上附着有耐高温薄膜，且该有耐高温薄膜位于透明玻璃内侧，从而形成对位于真空等离子喷涂罐内的观察保护结构。本实用新型通过镀在透明玻璃上的耐高温薄膜，该高温薄膜能有效吸收等离子弧光，从而可以减轻等离子弧光对观察者视网膜的伤害，保护观察人员的眼睛，而且观察者可以持续的对真空罐体内部等离子喷涂情况进行观测，可以随时根据观察情况调整工艺，降低了不良率。

主权项

一种真空等离子热喷涂旋转靶材观察保护装置，其特征在于：该保护装置为设在真空等离子喷涂罐上的观察视窗，该观察视窗主要包括透明玻璃，该透明玻璃上附着有耐高温薄膜，且该有耐高温薄膜位于透明玻璃内侧，从而形成对位于空等离子喷涂罐内的观察保护结构。