[实用新型]光罩检查机

摘要

本实用新型涉及一种光罩检查机，其于机架上设有一位于载台上方的光学影像处理模组，且该光学影像处理模组与该载台可相对线性位移，又该光学影像处理模组可向下撷取该载台上光罩的影像，再者该上检测模组于该光学影像处理模组一侧另设有一导光单元，该导光单元具有一光源及一导光板，其中该导光板可导引该光源的光线以线性方式照射于该光学影像处理模组的扫描位置，藉此，可利用由线性影像感光元件构成的光学影像处理模组，快速扫描光罩的表面，且通过斜设的导光单元导光板的作用，使光源的光线可斜射于光学影像处理模组扫描处，而提高其聚焦效果，从而提高污染物的辨识率，故能有效增进其检查效率与准确率，减少不必要的人力及误判状况，进一步可提高晶圆后续加工的合格率。

主权项

一种光罩检查机，其特征在于其至少包含有：一机架，该机架上设有一供承载一光罩的载台；一上检测模组，其于该机架上设有一位于该载台上方的光学影像处理模组，且该光学影像处理模组与该载台能够相对线性位移，又该光学影像处理模组能够向下撷取该载台上该光罩的影像，供扫描、辨识、标示及储存该光罩的污染物，再者该上检测模组于该光学影像处理模组一侧另设有一导光单元，该导光单元具有一光源及一导光板，其中该导光板能够导引该光源的光线以线性方式照射于该光学影像处理模组的扫描位置，且该导光单元斜射的光线与该光学影像处理模组垂直的扫描线间形成有一夹角；藉此，进而组构成一迅速、且准确检出异物的光罩检查机。