[实用新型]一种调节调节阀角度的旋转计数器有效
| 申请号： | 201420757690.0 | 申请日： | 2014-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN204204014U | 公开（公告）日： | 2015-03-11 |
| 发明（设计）人： | 詹云 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G06M1/04 | 分类号： | G06M1/04;F16K37/00 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种调节调节阀角度的旋转计数器，其包括定子、转子，转子位于定子的上方；定子和转子的中心均通孔；定子的内部设有线圈和电源，定子的侧面设有第一固定螺丝；转子下端的转轴镶嵌在定子的中心通孔内，并且转子与定子转动连接；转轴上还设有与线圈滑动连接的指针；转子的顶部装有电流计，转子的侧面设有第二固定螺丝；电源、线圈、指针、电流计串联连接构成回路。本实用新型的有益效果是：使得调节阀的调节精确可控，提高工作效率以及半导体设备相关参数的稳定性。精确地参照量化了旋转调节的角度，为参数匹配提供了方便。同时，不需要对原有的调节阀进行改进，只需本实用新型套在调节阀上就可以使用，节约了设备的改造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调节 角度 旋转 计数器 | ||
【主权项】：
一种调节调节阀角度的旋转计数器，其特征在于：包括定子(1)、转子(2)，所述转子(2)位于所述定子(1)的上方；所述定子(1)和转子(2)的中心均设有用于套在调节阀上的通孔；所述定子(1)的内部设有线圈(3)和电源(4)，所述定子(1)的侧面设有用于固定调节阀底座的第一固定螺丝(5)；所述转子(2)下端的转轴(2.1)镶嵌在所述定子(1)的中心通孔内，并且所述转子(2)与所述定子(1)转动连接；所述线圈(3)环绕在所述转轴(2.1)的外侧，所述转轴(2.1)上还设有与所述线圈(3)滑动连接的指针(6)；所述转子(2)的顶部装有电流计(7)，所述转子(2)的侧面设有用于固定调节阀旋钮的第二固定螺丝(8)；所述电源(4)、线圈(3)、指针(6)、电流计(7)串联连接构成回路。
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