[实用新型]一种可加装在晶片抛光机上的清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种喷淋管可以摆动和伸缩的可加装在晶片抛光机上的清洗装置，包括：安装座，安装座中活动穿设有进水管，进水管的顶端设置有弯管接头，弯管接头的另一端通过伸缩调节密封机构设置有喷淋管，使得喷淋管可以在弯管接头中伸缩而不漏水，并且，喷淋管上设置有若干喷淋头；所述的安装座包括：水平布置的安装板、以及设置有安装板底面上的至少一块垂直方向布置的立板，其中的一块立板上设置有减速电机，减速电机的输出轴上设置有主动齿轮，所述的进水管活动穿设在安装板中，进水管上设置有与主动齿轮相配合的从动齿轮。该清洗装置尤其适用于加装在晶片抛光机上。

主权项

一种可加装在晶片抛光机上的清洗装置，包括：安装座以及沿垂直方向布置的进水管和沿水平方向布置的喷淋管，喷淋管的顶壁上穿设有若干个等间距布置的喷淋头，进水管活动穿设在安装座中，进水管的顶端通过弯管接头与喷淋管的一端相连，喷淋管的另一端的端口中设置有堵头，其特征在于，所述的弯管接头与喷淋管之间的连接方式为：所述的喷淋管上沿周向对称设置有一对水平布置的定位座，定位座在靠近弯管接头一侧设置有与喷淋管相平行的定位杆，定位杆上设置有锁紧螺纹，所述的弯管接头在靠近喷淋管的一端设置有与锁定杆相配合的定位法兰，定位法兰的内壁上开设有环形密封槽，环形密封槽中设置有密封圈，喷淋管穿设在定位法兰和弯管接头中，定位法兰上还设置有与定位杆相配合的定位通孔，定位杆穿设在相应的定位通孔中，并在定位法兰的两侧分别设置有定位螺母；所述的安装座包括：水平布置的安装板以及设置在安装板底面上的至少一块垂直方向布置的立板，其中的一块立板上设置有减速电机，减速电机的输出轴上设置有主动齿轮，所述的进水管活动穿设在安装板中，进水管上设置有与主动齿轮相配合的从动齿轮。