[实用新型]氧化锌基透明导电膜玻璃的制备装置有效
申请号: | 201420565619.2 | 申请日: | 2014-09-28 |
公开(公告)号: | CN204281594U | 公开(公告)日: | 2015-04-22 |
发明(设计)人: | 金良茂;王芸;倪嘉;王萍萍;操芳芳 | 申请(专利权)人: | 中国建材国际工程集团有限公司;蚌埠玻璃工业设计研究院;蚌埠硅基材料产业技术研究院有限公司 |
主分类号: | C03C17/23 | 分类号: | C03C17/23 |
代理公司: | 上海硕力知识产权代理事务所 31251 | 代理人: | 王法男 |
地址: | 200061 上海市普*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种氧化锌基透明导电膜玻璃的制备装置,其包括:氧化锌液体前驱物制备单元,其制备氧化锌液体前驱物;掺杂单元,其在所述氧化锌液体前驱物中掺杂入掺杂前驱物,以形成掺杂氧化锌液体前驱物;涂覆单元,其利用液相辊涂法在玻璃基板上涂覆所述掺杂氧化锌液体前驱物;以及热处理单元,对所述形成有氧化物薄膜的玻璃基板进行热处理,以形成氧化锌基透明导电膜玻璃。本实用新型工艺简单,设备及原料成本低,易于操作,便于工业化大批量生产。本实用新型采用合适的液体前驱物在移动的玻璃表面镀制了氧化锌基掺杂透明导电氧化物薄膜,得到的透明导电膜具有高透过率、高电导率的特点,在薄膜太阳能电池中应用极广。 | ||
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【主权项】:
一种氧化锌基透明导电膜玻璃的制备装置,其特征在于,包括:氧化锌液体前驱物制备单元,其制备氧化锌液体前驱物;掺杂单元,其在所述氧化锌液体前驱物中掺杂入掺杂前驱物,以形成掺杂氧化锌液体前驱物;涂覆单元,其利用液相辊涂法在玻璃基板上涂覆所述掺杂氧化锌液体前驱物;以及热处理单元,对所述形成有氧化物薄膜的玻璃基板进行热处理,以形成氧化锌基透明导电膜玻璃。
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