[实用新型]贴合用真空装置有效
| 申请号： | 201420376158.4 | 申请日： | 2014-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN203957482U | 公开（公告）日： | 2014-11-26 |
| 发明（设计）人： | 宋燕;张仕杰 | 申请（专利权）人： | 苏州工业园区菲铭特自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | B32B37/10 | 分类号： | B32B37/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种贴合用真空装置，其包括：气缸、直线轴承、导向轴、轴、电磁阀、直线电机、压力传感器、拖链；所述导向轴的两端分别与所述直线轴承和轴相连接；所述贴合用真空装置还包括上基板和下基板，所述气缸位于所述上基板上，所述上基板和下基板两端滑动设置于所述导向轴上，所述轴和电磁阀固定于所述下基板的下方；所述直线电机位于所述导向轴的一侧，且直线电机位于所述上基板和下基板之间，所述压力传感器与所述直线电机相对设置，且固定于所述下基板下方。本实用新型的贴合用真空装置结构设计合理、使用方便、具有较高的贴合精度，具体地，精度可达到微米级。 | ||
| 搜索关键词： | 贴合 真空 装置 | ||
【主权项】：
一种贴合用真空装置，其特征在于，所述贴合用真空装置包括：气缸、直线轴承、导向轴、轴、电磁阀、直线电机、压力传感器、拖链； 所述导向轴的两端分别与所述直线轴承和轴相连接，且所述直线轴承、导向轴、轴的中心轴线相重合； 所述贴合用真空装置还包括上基板和下基板，所述气缸位于所述上基板上，所述上基板和下基板两端滑动设置于所述导向轴上，所述轴和电磁阀固定于所述下基板的下方； 所述直线电机位于所述导向轴的一侧，且直线电机位于所述上基板和下基板之间，所述压力传感器与所述直线电机相对设置，且固定于所述下基板下方； 所述拖链位于所述上基板和下基板的一侧，并通过固定板与所述下基板固定连接。
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