[实用新型]液态氯硅烷在线检测样品处理装置

摘要

本实用新型公开了液态氯硅烷在线检测样品处理装置，包括：一封闭箱体，一设置于封闭箱体外部的取样装置，所述取样装置一路连接下游物料管线，另一路通过管线连接蒸汽气化装置，一设置于封闭箱体内部的蒸汽气化装置，快速回路装置以及进色谱装置，还包括一氮气吹扫装置，该氮气吹扫装置设置于封闭箱体内，并与快速回路装置连接，其始终对快速回路装置的排放管线进行吹扫，实现对系统的氮气吹扫和氮气保护，有效防止由于外部环境温度降低以及管道背压而导致氯硅烷回流。本实用新型能够长期、连续、稳定运行，确保液态氯硅烷完全汽化，达到在线分析仪表对样品的要求，并得到准确可靠地分析数据。

主权项

液态氯硅烷在线检测样品处理装置，其特征在于，包括：一封闭箱体，一设置于封闭箱体外部的取样装置，所述取样装置一路连接下游物料管线，另一路通过管线连接蒸汽气化装置，一设置于封闭箱体内部的蒸汽气化装置，快速回路装置以及进色谱装置，所述蒸汽汽化装置连接的蒸汽一部分进入蒸汽散热片对封闭箱体进行加热，另一部分通过蒸汽汽化减压阀对样品进行加热汽化；所述快速回路装置包括三通过滤器，所述三通过滤器第一端连接蒸汽气化装置，三通过滤器第二端连接进色谱装置，三通过滤器第三端连接氮气吹扫装置；所述进色谱装置包括标气三通切换阀，所述标气三通切换阀第一端连接快速回路装置，标气三通切换阀第二端将汽化的样品送至进入色谱后，经色谱进样阀后进入快速回路装置；还包括一氮气吹扫装置，该氮气吹扫装置设置于封闭箱体内，并与快速回路装置连接，其始终对快速回路装置的排放管线进行吹扫，实现对系统的氮气吹扫和氮气保护，有效防止由于外部环境温度降低以及管道背压而导致氯硅烷回流。