[实用新型]利用光谱吸收法测量SF6分解物CF4气体浓度的装置

摘要

利用光谱吸收法测量SF₆分解物CF₄气体浓度的装置，属于光电检测技术领域，本实用新型为解决现有测量CF₄气体浓度的装置不能同时满足测量精度高和测量设备成本低，并且不能实现在线监测的问题。本实用新型所述利用光谱吸收法测量SF₆分解物CF₄气体浓度的装置，它包括激光器、第一聚光镜、样品池、第二聚光镜和光谱仪，激光器出射的光射入第一聚光镜，经第一聚光镜的透射变成平行光入射至样品池，样品池将出射光输送至第二聚光镜，经第二聚光镜的聚焦输送至光谱仪的入射狭缝中。本实用新型用于SF₆检测器中。

主权项

利用光谱吸收法测量SF₆分解物CF₄气体浓度的装置，其特征在于，它包括激光器(1)、第一聚光镜(2)、样品池(3)、第二聚光镜(4)和光谱仪(5)，激光器(1)出射的光射入第一聚光镜(2)，经第一聚光镜(2)的透射变成平行光入射至样品池(3)，样品池(3)将出射光输送至第二聚光镜(4)，经第二聚光镜(4)的聚焦输送至光谱仪(5)的入射狭缝中。