[实用新型]Z轴聚焦光束刷设备

摘要

本实用新型提供了一种Z轴聚焦光束刷设备。Z轴聚焦光束刷设备包括被固定用于接收沿着第一光束轴传播的激光光束的一个透镜、被定位用于通过光束路径长度的改变将激光光束重定向到第二光束轴上的后向反射器、以及透射所重定向的光束的第二透镜。后向反射器能围绕偏移轴旋转，并且使得其旋转角被控制用于影响光束路径长度的改变。导致路径长度改变的旋转角被选择用于提供透射通过第二透镜的反射光束的聚焦或发散。这种系统可用作可与设置在改变的光束下游的X-Y扫描器一起操作的Z轴聚焦设备。

主权项

一种Z轴聚焦光束刷设备，其特征在于，包括： 被定位用于接收沿着第一光束轴传播的光束的第一透镜； 具有第一和第二反射表面部分的后向反射器，第一反射表面部分被定位用于接收从第一透镜透射的光束并且将该光束重定向到第二反射表面部分上，其中所述后向反射器能围绕旋转轴旋转； 被固定在第一透镜下游位置的第二透镜，用于从所述后向反射器的第二反射表面部分接收所反射的光束并且沿着第二光束轴透射该光束；以及 能与所述后向反射器一起操作的控制器，用于控制围绕所述旋转轴的第一和第二反射表面部分的旋转角，因此控制第一透镜与第二透镜之间的光束的路径长度改变，导致路径长度改变的旋转角被选择用于提供透射通过第二透镜的反射光束的聚焦和发散中的至少之一。