[实用新型]保持热场水平的单晶炉筒有效
| 申请号： | 201420080244.0 | 申请日： | 2014-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN203795014U | 公开（公告）日： | 2014-08-27 |
| 发明（设计）人： | 王谊 | 申请（专利权）人： | 镇江大成新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 212132 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种保持热场水平的单晶炉筒，其底部敷设碳毡层进行保温，还包括石墨底盘和石墨支撑柱，所述碳毡层上开孔安装所述石墨支撑柱，所述石墨底盘安装在所述石墨支撑柱上。本实用新型的优点是在单晶炉筒内热场底部采用石墨支撑柱支撑石墨底盘，在保证了炉内底部的热场水平的同时，相应的炉内上部的热场水平也得到了解决，保证了热场长久处于水平状态，改善了内部热循环；增加底部保温，减少了底部碳毡的老化；最终使硅棒内在品质得到改善，使硅片内在电阻分布更均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 保持 水平 单晶炉筒 | ||
【主权项】：
一种保持热场水平的单晶炉筒，其底部敷设碳毡层（1）进行保温，其特征在于：还包括石墨底盘（2）和石墨支撑柱（3），所述碳毡层（1）上开孔安装所述石墨支撑柱（3），所述石墨底盘（2）安装在所述石墨支撑柱（3）上。
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