[实用新型]固晶机顶针机构有效
| 申请号： | 201420022233.7 | 申请日： | 2014-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN203721691U | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | 喻泷 | 申请（专利权）人： | 深圳鼎晶光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区桃源街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种固晶机顶针机构，其包括：一支撑架；一传动电机，设于所述支撑架上，传动电机具有一传动轴，传动轴上设置一偏心传动结构和一连杆结构；一原点Sensor，设置于所述支撑架上，所述原点Sensor对应所述偏心传动结构处设有一凹槽，一导向机构，设于所述支撑架顶部，所述导向机构的下端连接所述连杆机构，所述导向机构上设置一微调机构，所述微调机构的侧边设置一真空结构，导向机构的上部设置一顶针结构。借由传动电机带动偏心传动结构运动，触发原点Sensor，进而使顶针结构上下运动，使得本设计结构简单，大大提高了顶针结构运动的精准度。 | ||
| 搜索关键词： | 固晶机 顶针 机构 | ||
【主权项】：
一种固晶机顶针机构，其特征在于，包括：一支撑架；一传动电机，设于所述支撑架上，传动电机具有一传动轴，传动轴上设置一偏心传动结构和一连杆结构；一原点Sensor，设置于所述支撑架上，所述原点Sensor对应所述偏心传动结构处设有一凹槽，一导向机构，设于所述支撑架顶部，所述导向机构的下端连接所述连杆机构，所述导向机构上设置一微调机构，所述微调机构的侧边设置一真空结构，导向机构的上部设置一顶针结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
