[发明专利]一种ZnO/Ag/ZnO复合透明导电薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种ZnO/Ag/ZnO复合透明导电薄膜的制备方法，属于复合功能薄膜材料技术领域。本发明的技术方案要点为：一种ZnO/Ag/ZnO复合透明导电薄膜的制备方法，在基底上先利用溶胶旋涂法制备掺杂ZnO薄膜，然后在掺杂ZnO薄膜上制备Ag薄膜，再在Ag薄膜上制备掺杂ZnO薄膜，低温烧结后得到ZnO/Ag/ZnO复合透明导电薄膜。本发明采用溶胶-凝胶技术制备掺杂ZnO薄膜和Ag薄膜的方法制得的ZnO/Ag/ZnO复合透明导电薄膜具有较好的透过率和导电性能，并且成本低廉，适于工业化生产。

主权项

一种ZnO/Ag/ZnO复合透明导电薄膜的制备方法，其特征在于：在基底上先利用溶胶旋涂法制备掺杂ZnO薄膜，然后在掺杂ZnO薄膜上制备Ag薄膜，再在Ag薄膜上制备掺杂ZnO薄膜，低温烧结后得到ZnO/Ag/ZnO复合透明导电薄膜，具体包括以下步骤：步骤1：将基底依次用洗洁精水溶液、氢氧化钠溶液、盐酸溶液、无水乙醇和去离子水清洗干净；步骤2：将无水醋酸锌、六水氯化铝、乙醇胺和乙二醇甲醚在60℃搅拌混合均匀后再在室温下陈化24h以上得到溶胶A；步骤3：将硝酸银和乙二醇甲醚混合搅拌，并将搅拌均匀后的溶液装入棕色瓶中并密封，然后放入超声仪器中超声处理得到溶液B，室温下将溶液B存储于暗处；步骤4：将步骤2得到的溶胶A涂布在步骤1清洗得到的基底上得到薄膜，再将薄膜进行热处理，空气中热处理温度为150‑350℃，保温时间为10‑30min，然后自然冷却得到掺杂ZnO薄膜；步骤5：分别重复上述涂布溶胶A和热处理得到多层掺杂ZnO薄膜；步骤6：将步骤3得到的溶液B涂布到步骤5得到的掺杂ZnO薄膜上得到薄膜，再将薄膜进行热处理，空气中热处理温度为150‑350℃，保温时间为10‑30min，然后自然冷却得到AgO薄膜；步骤7：分别重复上述涂布溶液B和热处理得到多层Ag薄膜；步骤8：将步骤2得到的溶胶A涂布到步骤7得到的Ag薄膜上得到薄膜，再将薄膜进行热处理，空气中热处理温度为150‑350℃，保温时间为10‑30min，然后自然冷却得到掺杂ZnO薄膜；步骤9：分别重复上述涂布溶胶A和热处理得到多层掺杂ZnO薄膜；步骤10：将经过上述步骤获得的复合薄膜置于烧结炉中，于400‑600℃退火1‑4h即制得ZnO/Ag/ZnO复合透明导电薄膜。