[发明专利]平板式外延炉的载片错位监测装置及监测方法

摘要

本发明提供了一种平板式外延炉的载片错位监测装置及载片错位的检测方法，所述载片错位监测装置包括被装载片、外延炉的基座、载片槽、机械手、激光发射器、激光接收器、激光检测&控制基板等，激光检测&控制基板与外延炉的机械手臂检测&控制基板和机台主控制系统之间相互连接。当被装载片完成装载后，通过激光发射器发射激光至外延炉基座的载片槽中心位置，激光经过被装载片的反射；激光接收器进行反射激光的接收，通过激光接收器是否接收到激光的判断进行载片错位监测。本发明所提供监测装置及监测方法可以在载片完成后的第一时间准确有效的探测到载片错位的发生，避免了由此而引起的外延片及后道器件厂家的损失。

主权项

一种平板式外延炉的载片错位监测装置，所述平板式外延炉包括被装载片(1)，基座(2)，载片槽(3)，石英罩(4)，用于装载被装载片的机械手(8)，机械手臂检测&控制基板(9)，机台主控制系统(10)以及报警装置(11)；其特征在于：所述载片错位监测装置包括激光发射器(5)、激光接收器(6)、激光检测&控制基板(7)，激光发射器(5)及激光接收器(6)分别与激光检测&控制基板(7)相连，所述激光检测&控制基板(7)作为激光发射器(5)及激光接收器(6)、机台主控制系统(10)之间的信号发射、接收及处理中心，并控制激光发射器(5)及激光接收器(6)的开启及关闭；所述机械手臂检测&控制基板(9)及激光检测&控制基板(7)分别与机台主控制系统(10)连接，机台主控制系统(10)还连接报警装置(11)；所述激光发射器(5)的安装位置为使其激光发射到载片槽(3)内，所述激光接收器(6)的安装位置限定为：激光发射器(5)发射的激光被完全水平装载的被装载片(1)反射的反射线的接收位置上。