[发明专利]一种传感器压电薄膜结构在审
| 申请号： | 201410803766.3 | 申请日： | 2014-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN105758581A | 公开（公告）日： | 2016-07-13 |
| 发明（设计）人： | 薛金辉 | 申请（专利权）人： | 天津市金辉空气压缩机制造有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/08 | 分类号： | G01L9/08;G01L19/04 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 韩敏 |
| 地址： | 300300 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种传感器压电薄膜结构，包括保护层、相变层、ALN层和基载层。本发明在现有技术的基础上添加了由恒温相变材料构成的相变层，利用相变材料的恒温特性在一定温度范围内维持压电薄膜结构的相对恒温，从而实现了传感器压电薄膜在温度变化较频繁环境下仍能保持较高的灵敏度。此外，该技术结构简单、成本较低、应用前景比较广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传感器 压电 薄膜 结构 | ||
【主权项】：
一种传感器压电薄膜结构，包括保护层(1)、ALN层(3)和基载层(4)，其特征在于还包括由恒温相变材料构成的相变层(2)，其中ALN层(3)覆盖于基载层表面并与基载层(4)紧密贴合，相变层(2)覆盖于ALN层(3)另一面并与ALN层(3)紧密贴合，保护层(1)覆盖于内相变层(2)另一面并与相变层(2)紧密贴合。
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