[发明专利]超声波探头

摘要

本发明提供一种超声波探头，其具有多个超声波换能器，超声波换能器(100)隔着空隙(4)而配置有基板(1)和隔膜(5)而形成，基板(1)在其内部或表面具有第一电极，隔膜(5)在其内部或表面具有第二电极。而且，在隔膜(5)或第二电极的表面或内部具备至少一个梁(7)。

主权项

1.一种超声波探头，其具有基板、和设于所述基板上的多个超声波换能器，其特征在于，所述多个超声波换能器分别具有下部电极、上部电极、与所述上部电极一起振动的隔膜、设于所述下部电极和上部电极之间的空隙，在所述隔膜的表面设有梁，多个所述上部电极由接线连接，所述超声波探头具有由所述接线连接的超声波换能器排列多个而成的超声波换能器组，从而发送接收超声波，以由所述接线连接为一组的多个所述超声波换能器为单位，在属于相同单位的超声波换能器中，所述隔膜具有相同的平面形状的横长的长方形的形状，且所述梁具有相同的尺寸，在所述隔膜的纵向上较长的所述梁沿所述隔膜的横向呈短片状以均等的间隔排列配置有多根，所述隔膜包含表示隔膜的振动部分与下部电极的间隔的所述空隙，并具备：内侧隔膜层，其以即使振动部分进行过量位移也不将下部电极和上部电极导通的方式绝缘；外侧隔膜层，其以覆盖内侧隔膜层的上面的方式形成，在俯视观察所述超声波换能器时，所述空隙和所述上部电极都具有平面形状的横长的长方形的形状，所述隔膜的长方形的形状的纵/横比为1/10以下，所述空隙的长方形的形状的轮廓包围所述上部电极的长方形的形状的轮廓，并且，所述梁、所述空隙和所述隔膜的纵向是相同的方向。