[发明专利]一种ICP离子源自动点火控制方法有效
申请号: | 201410748136.0 | 申请日: | 2014-12-09 |
公开(公告)号: | CN104597785A | 公开(公告)日: | 2015-05-06 |
发明(设计)人: | 张晶晶;金星;方健 | 申请(专利权)人: | 中国地质大学(武汉) |
主分类号: | G05B19/04 | 分类号: | G05B19/04 |
代理公司: | 武汉华旭知识产权事务所 42214 | 代理人: | 江钊芳 |
地址: | 430074 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明涉及一种ICP离子源自动点火控制方法,包括四个步骤:步骤一、通过计算机向阻抗匹配器内的电机发送到达适合点火的阻抗匹配预置点命令,延时3秒等待电机到达预置点;步骤二、开高压直流打火器、开射频电源,产生火花电弧,进行点火;步骤三、进入主循环程序,采集火焰状态,循环判断自动点火是否完成;步骤四、退出主循环,自动点火过程结束,进行自动匹配或者关闭点火器、射频源。本发明的控制方法具有高效、准确率、便捷和低成本的优点,用于ICP离子源的全自动点火控制,可大大降低点火状态的误判率,同时能在无法正常点火的情况下对设备进行保护,延长设备的工作寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 icp 离子源 自动 点火 控制 方法 | ||
【主权项】:
一种ICP离子源自动点火控制方法,其特征在于,按如下步骤操作:步骤一、通过计算机向阻抗匹配器内的电机发送到达适合点火的阻抗匹配预置点命令,延时3秒等待电机到达预置点;步骤二、开高压直流打火器、开射频电源,产生火花电弧,进行点火;步骤三、进入主循环程序,采集火焰状态,循环判断自动点火是否完成;步骤四、退出主循环,自动点火过程结束,进行自动匹配或者关闭点火器及射频源。
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