[发明专利]气压控制装置及气压控制系统在审
| 申请号： | 201410740402.5 | 申请日： | 2014-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN105739554A | 公开（公告）日： | 2016-07-06 |
| 发明（设计）人： | 张洪博;王云英;李佳;李洋;秦少伍;赵留所;胡怀忠 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05D16/04 | 分类号： | G05D16/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种气压控制装置及气压控制系统，通过在气压控制装置中的供气回路中增设若干组压力调控单元，使得气压控制装置可以对经过初级调压阀及次级调压阀调控后的压力在不符合被调压对象的压力需求时，可以通过调节若干组压力调控单元中手动阀连通毛细管或者单元管道对气体压力做进一步的调节，从而使被调压对象的进气端的气体压力值符合被调压对象的需求，从而提高了气压控制装置的压力控制精准度及被调压对象的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 气压 控制 装置 控制系统 | ||
【主权项】：
一种气压控制装置，包括：被调压对象的供气回路和被调压对象的排气回路；其中，所述供气回路包括：依次设置在管道上的调节阀、初级调压阀、次级调压阀、若干组彼此相互串联的压力调控单元及第一压力测试口；所述压力调控单元包括手动阀及与所述手动阀选择性连通的毛细管及单元管道，其特征在于，所述毛细管与所述单元管道并联。
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