[发明专利]气压控制装置及气压控制系统在审

专利信息
申请号: 201410740402.5 申请日: 2014-12-07
公开(公告)号: CN105739554A 公开(公告)日: 2016-07-06
发明(设计)人: 张洪博;王云英;李佳;李洋;秦少伍;赵留所;胡怀忠 申请(专利权)人: 上海微电子装备有限公司
主分类号: G05D16/04 分类号: G05D16/04
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 气压 控制 装置 控制系统
【权利要求书】:

1.一种气压控制装置,包括:被调压对象的供气回路和被调压对象的排气回路;其中,

所述供气回路包括:依次设置在管道上的调节阀、初级调压阀、次级调压阀、若干组彼此相互串联的压力调控单元及第一压力测试口;所述压力调控单元包括手动阀及与所述手动阀选择性连通的毛细管及单元管道,其特征在于,所述毛细管与所述单元管道并联。

2.如权利要求1所述的气压控制装置,其特征在于,若干组所述压力调控单元中的所述毛细管的管径及长度互不相同。

3.如权利要求1所述的气压控制装置,其特征在于,每组所述压力调控单元中所述毛细管与所述单元管道的数量相同。

4.如权利要求1所述的气压控制装置,其特征在于,所述初级调压阀与所述次级调压阀之间的管道上设置有过滤纯化装置。

5.如权利要求4所述的气压控制装置,其特征在于,所述次级调压阀与所述若干组彼此相互串联的所述压力调控单元之间的管道上设置有第二压力测试口;所述初级调压阀与所述过滤纯化装置之间的管道上设置有第三压力测试口;所述第二压力测试口与所述第三压力测试口均用于测试管道内压力。

6.如权利要求1所述的气压控制装置,其特征在于,所述排气回路设置有排气节流阀。

7.如权利要求1所述的气压控制装置,其特征在于,所述调节阀与所述初级调压阀之间的管道上设置有气源传感器;所述气源传感器用于感知管道中气体的流量。

8.如权利要求7所述的气压控制装置,其特征在于,所述调节阀为球阀。

9.一种气压控制系统,其特征在于,包括:被调压对象、与所述被调压对象相连的如权利要求1至8中任意一项的所述气压控制装置、及与所述气压控制装置相连的气源装置。

10.如权利要求9所述的气压控制系统,其特征在于,所述气源装置中承载的气体为氦气、氮气或者压缩空气。

11.如权利要求10所述的气压控制系统,其特征在于,所述气压控制装置中供气回路中的所述压力调控单元的所述毛细管的管径及长度均依据所述气源装置所承载的气体类别来设计。

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