[发明专利]离子注入装置有效
| 申请号： | 201410693818.6 | 申请日： | 2014-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN104681384B | 公开（公告）日： | 2018-04-03 |
| 发明（设计）人： | 八木田贵典 | 申请（专利权）人： | 斯伊恩股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够广泛使用的离子注入装置及离子注入方法。所述离子注入装置的多级四极透镜(900)具备第1四极透镜(904)及第3四极透镜(908)。第1四极透镜(904)的第1孔半径(R1)可以小于第3四极透镜(908)的第3孔半径(R3)。多级四极透镜(900)可以在第1四极透镜(904)与第3四极透镜(908)之间具备第2四极透镜(906)。第2四极透镜(906)的第2孔半径(R2)可以在第1四极透镜(904)的第1孔半径(R1)与第3四极透镜(908)的第3孔半径(R3)之间。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 装置 | ||
【主权项】：
一种离子注入装置，其特征在于，所述离子注入装置具备多级四极透镜，该多级四极透镜由三级的四极透镜构成，且配设于射束线的中途且用于调整射束会聚/发散，所述多级四极透镜由将透镜中心轴设为相同并以直线状排列的多个四极透镜构成，所述多级四极透镜的透镜孔径阶段性地被扩大，所述多个四极透镜的透镜长度被分别设定，所述多级四极透镜构成为，能够进行所入射的离子束的直径朝向所述射束线的下游向纵向和/或横向被扩大并从所述多级四极透镜出射的射束输送，所述多级四极透镜的电源部具备用于第2四极透镜和第3四极透镜的共用电源，并具备用于与第2四极透镜及第3四极透镜分开而独立控制第1四极透镜的独立电源，所述多级四极透镜以所述多个四极透镜工作时的多个射束输送模式中的任意模式动作，所述多个射束输送模式包括发散射束模式，该模式中使所述多级四极透镜动作，以使从所述多级四极透镜出来的离子束向第1方向会聚并向与该第1方向正交的第2方向发散，所述发散射束模式中，仅向第1四极透镜施加电压。
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