[发明专利]用于多晶硅定向凝固工艺的多晶炉有效
| 申请号： | 201410652325.8 | 申请日： | 2014-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN105648525B | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 唐骏;孟涛;路景刚;余刚 | 申请（专利权）人： | 镇江荣德新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;佛新瑜 |
| 地址： | 212200 江苏省镇*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于多晶硅定向凝固工艺的多晶炉，包括：一炉体；热场；石英坩埚，所述石英坩埚位于所述热场内，其包括一坩埚盖板，所述坩埚盖板与所述石英坩埚之间预设有供氩气流出的第二气道，所述氩气输入管延伸至所述热场内并穿过所述坩埚盖板以使氩气通过其进入所述石英坩埚；所述炉体上还设置有抽气管，所述抽气管延伸至所述热场内并从所述热场内向所述炉体外抽送氩气。本发明的用于多晶硅定向凝固工艺的多晶炉的氩气流道设计合理，大大降低了氩气流动过程的局部阻力和流程阻力，减少了旋涡的强度和数量，增加了流动的顺畅性。 | ||
| 搜索关键词： | 氩气 石英坩埚 定向凝固工艺 坩埚盖板 多晶硅 多晶炉 炉体 抽气管 局部阻力 流程阻力 流动过程 输入管 顺畅性 氩气流 旋涡 延伸 抽送 气道 热场 流出 穿过 流动 | ||
【主权项】：
1.用于多晶硅定向凝固工艺的多晶炉，其特征在于，包括：一炉体，所述炉体的顶部设置有氩气输入管，且所述炉体的侧面上设置有氩气出口；热场，所述热场位于所述炉体内，其为一由多块保温板围成的腔室，每块保温板之间具有供氩气流动的第一气道；石英坩埚，所述石英坩埚位于所述热场内，其包括一坩埚盖板，所述坩埚盖板与所述石英坩埚之间预设有供氩气流出的第二气道，所述氩气输入管延伸至所述热场内并穿过所述坩埚盖板以使氩气通过其进入所述石英坩埚；所述炉体上还设置有抽气管，所述抽气管延伸至所述热场内并从所述热场内向所述炉体外抽送氩气。
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