[发明专利]适用于高温环境微压力传感器的校准系统

摘要

本发明提供了一种适用于高温环境微压力传感器的校准系统，该校准系统适用于高温环境微压力传感器的校准。包括高温、低温两个腔室，采用PLC控制真空系统和加热系统，可同时进行压力、温度加载，配备压力、温度基准以及水冷系统，能够模拟传感器高温、微小压力的实际工作环境进行校准，具有压力控制精度高、温度调节快的特点；同时，配有专用的上位机(PC)人机软件，可对校准系统进行远程监控。该校准系统为高温微压力传感器校准提供了一个稳定可靠、安全便捷的平台，解决了此类传感器目前难以校准的难题。

主权项

适用于高温环境微压力传感器的校准系统，其特征是包括以下组成部分：(1)、一个由载荷室(8)和环境室(9)组成的腔体结构，可以实现对被校传感器(6)压力、温度参量的多场耦合加载；其中载荷室(8)最高可以实现800℃的高温环境，用于模拟传感器高温工作环境，环境室(9)提供‑40℃～70℃低温环境，用于传感器输出引线(10)穿出而不受损坏；(2)、一套安装于载荷室(8)的基准源，其中压力基准为压力薄膜规(11)，精确测量载荷室(8)环境压力，压力测量范围0～266Pa，温度基准为镍铬热电偶(4)，精确测量载荷室(8)环境温度，温度测量范围为室温～1000℃；(3)、一套压力控制系统，用于精确控制载荷室(8)环境压力；(4)、一套温度系统，用于精确控制载荷室(8)环境温度；(5)、一套水冷循环系统，用于实验腔室和设备的冷却；(6)、一套以PLC为核心的电气控制系统，用于高低温实验装置各子系统的控制，PLC通过RS‑232协议与上位机PC进行通讯；(7)、一个用于人际交流的上位机软件，可以实现校准系统的实时控制和状态显示，进行远程操作和信息化处理。