[发明专利]一种VCSEL的多参数测试装置及方法有效
| 申请号： | 201410558638.7 | 申请日： | 2014-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN104297598B | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 石凡;杨仁福;年丰;张升康;崔永顺;张振伟;赵环;王暖让;冯克明 | 申请（专利权）人： | 北京无线电计量测试研究所 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司11257 | 代理人： | 张雪梅 |
| 地址： | 100854 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种VCSEL的多参数测试装置及方法，该装置及方法包括可调电流源给VCSEL供电、准直透镜接收VCSEL的发散激光并输出平行光束、消偏振分光镜接收平行光束并分别输出第一和第二光束、聚焦透镜将第一光束聚焦为聚焦光束、光纤探头接收聚焦光束并输出测试信号至光纤光谱仪测量光谱参数、偏振分光镜将第二光束分光，分别输出水平线偏振光束和垂直线偏振光束至第一、第二光电探测器并分别测量光强，分别记录以上两个光强首次不为零时可调电流源的电流为水平和垂直偏振模式的阈值。本发明所述技术方案，解决了对VCSEL的多参数高效测试的问题，可同时测量VCSEL的光谱参数、水平偏振模式的阈值和垂直偏振模式的阈值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 vcsel 参数 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基于VCSEL的多参数测试装置的VCSEL的多参数测试方法，其特征在于，所述VCSEL的多参数测试装置包括：可调电流源(2)、准直透镜(3)、消偏振分光镜(4)、偏振分光镜(5)、聚焦透镜(6)、光纤探头(7)、光纤光谱仪(8)、第一光电探测器(10)和第二光电探测器(11)；可调电流源(2)给VCSEL(1)提供驱动电流，使待测VCSEL(1)输出发散激光；准直透镜(3)接收所述发散激光并输出平行光束；消偏振分光镜(4)接收所述平行光束并分别输出沿第一光路传播的第一光束和沿第二光路传播的第二光束；聚焦透镜(6)将所述第一光束聚焦为聚焦光束；光纤探头(7)接收所述聚焦光束并输出测试信号至光纤光谱仪(8)；偏振分光镜(5)将所述第二光束分光，分别输出水平线偏振光束至第一光电探测器(10)，输出垂直线偏振光束至第二光电探测器(11)；所述基于VCSEL的多参数测试装置的VCSEL的多参数测试方法包括步骤：将VCSEL输出的发散激光准直为平行光束；将所述平行光束分光为沿第一光路传播的第一光束和沿第二光路传播的第二光束；利用光纤光谱仪(8)接收所述第一光束聚焦后的测试信号并测试VCSEL(1)的光谱参数；将所述第二光束分光为水平线偏振光束和垂直线偏振光束；由0A开始逐渐增大可调电流源(2)给VCSEL(1)提供的驱动电流，将第一光电探测器(10)测量得到的水平线偏振光束的光强首次不为零时可调电流源(2)的电流值记录为VCSEL(1)的水平线偏振光束阈值，将第二光电探测器(11)测量得到的垂直线偏振光束的光强首次不为零时可调电流源(2)的电流值记录为VCSEL(1)的垂直线偏振光束阈值。
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