[发明专利]压印设备和制造制品的方法有效

专利信息
申请号: 201410551185.5 申请日: 2014-10-17
公开(公告)号: CN104570594B 公开(公告)日: 2019-04-30
发明(设计)人: 村上洋介;林达也;中川一树 申请(专利权)人: 佳能株式会社
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 贾金岩
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及一种压印设备和制造制品的方法,所述压印设备实施通过使用模具在基板上形成图案的压印处理,所述设备包括:加热单元,其构造成加热基板上的待压印的区域,从而使得所述区域变形;和处理单元,其构造成将待压印的第一区域和第二区域中的一个区域确定为首先将被压印的区域并且将另一个区域确定为随后将被压印的区域,其中,在所述加热单元使得所述一个区域变形以使得所述一个区域接近目标形状的情况中对所述另一个区域造成的影响小于在所述加热单元使得所述另一个区域变形以使得所述另一个区域接近所述目标形状的情况中对所述一个区域造成的影响。
搜索关键词: 压印 加热单元 压印设备 变形 目标形状 区域接近 区域确定 制造制品 处理单元 第二区域 第一区域 加热基板 基板 模具 图案
【主权项】:
1.一种压印设备,所述压印设备实施通过使用模具在基板上对于基板中的第一区域和第二区域中的每个区域形成压印材料的图案的压印处理,所述压印设备包括:加热单元,所述加热单元构造成加热基板,从而使基板上的待压印的区域变形;和处理单元,所述处理单元构造成,确定针对第一区域和第二区域实施压印处理的顺序,使得第一区域和第二区域中的一个区域将首先被压印,第一区域和第二区域中的另一个区域将随后被压印,其中,处理单元确定所述顺序,使得在所述加热单元使得所述一个区域变形以使得所述一个区域接近目标形状的情况中对所述另一个区域造成的影响小于在所述加热单元使得所述另一个区域变形以使得所述另一个区域接近所述目标形状的情况中对所述一个区域造成的影响。
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